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液晶ガラス・PDPガラス検査システム

用途 ・液晶ガラス、PDPガラス、有機EL用ガラスの外観検査システム
・切断、研磨、洗浄後の枚葉ガラスの欠陥検査を行う
アワ拡大画面/検査機画面1(アワ検査)
アワ拡大画面/検査機画面2(アワ検査拡大)

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構成  

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仕様  
カメラ台数 1〜40台(MAX64台)
検査対象物 液晶ガラス基板、PDPガラス基板
検査対象物の搬送速度 MAX:1000mm/sec(但し最小分解能に依存)
最小分解能 光学系倍率に依存(今までの最小10μm)(半導体ウエハ検査機では0.25μmでの実施例もあり)
最小欠点検出サイズ 光源および光学系倍率に依存(今までの検出できたキズの最小幅:50nm)
画像処理能力 MAX:1GB/S

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特長 進化するディスプレーのための、高性能で安価な検査システム

・各種光学系に対応
 モアレ縞方式による光学歪みによる欠陥検出(最小20μm幅のアワまで検出)
 特殊な透過光によるキズ欠陥検出(最小50nm幅のキズまで検出)
 透過光と反射光の組み合わせによる表裏識別

・20μm分解能で、第8世代素板ガラスまで対応可能

・MAX:64台のラインセンサーカメラまで対応可能

・最新鋭のCPU採用と独自開発のソフトにより、高速画像処理を実現

・MAX:1GB/Sの画像処理能力により、ガラス1枚に35GBの画像処理を実現

・カメラの視野通過後5秒以内に判定処理を終了(欠陥数10個以内の場合)

・検査対象物ごとのカスタマイズ対応可能

・オンライン時に上位PLCからデータをロードし、製品別に判定基準を設定可能

・検査範囲マスク機能により対象検査範囲を設定し、検査ログファイル作成が可能

・オフライン取り込み機能にて、取り込んだ元画像より欠点部分の拡大、解析が可能

・レビュー用顕微鏡で欠陥を目視確認または自動画像処理が可能(オプション)

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